Регулятор расхода газа

Предназначен для управления потоком технологических газов в процессах магнетронного и электро - дугового нанесения пленок металлов их нитридов, оксидов и карбидов. Для поддержания давления в вакуумной камере может использоваться обратная связь от датчиков давления. Прибор формирует как ШИМ сигнал для управления вибронатекателями, так и аналоговый сигнал для управления расходомерами.

Технические характеристики:

• Количество выходных каналов - 5
• Амплитуда управляющего ШИМ сигнала - 24В
• Частота управляющего ШИМ сигнала - 10Гц
• Управляющий аналоговый сигнал - 0 - 10В
• Количество входных каналов обратной связи - 2
• Напряжение сигнала обратной связи - 0 - 10В
• Напряжение питания прибора - 110 - 220В, 50/60Гц
• Потребляемая мощность не более - 35Вт
• Габаритные размеры ШхВхГ - 144х72х180мм